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标准气体分析的方法有很多，但常用的主要有如下四个：化学发光法、气相色谱法、用于微量水和微量氧分析及非色散红外法等其他方法。
1、化学发光法
化学发光法是利用某些化学反应所产生的发光现象对组分进行分析的方法，具有灵敏度高，选择性好，使用简单方法、快速等特点。因此，适用硫化物、氮氧化物、氨等标准气体的分析。
2、气相色谱法:
气相色谱法适用于氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、一氧化碳、二氧化碳等无机气体，甲烷、乙烷、丙烯及C3以上的绝大部分有机气体的分析。通过直接法、浓缩法、反应法等样品处理技术的应用，分析的含量范围为10-9~99。999%。所以，气相色谱法也是分析标准气体中应用最多、最普遍的方法。
气相色谱仪主要由气路系统、进样系统、柱恒温箱、色谱柱、检测器和数据处理系统等组成。用气相色谱法分析标准气体，要想获得准确可靠的分析结果，首先必须建立分析方法，选择合适的操作条件和操作技术。建立分析方法可从以下几方面考虑。
3、微量水和微量氧分析：
一、微量氧分析仪
在高纯气体的分析中，几乎所有的高纯气体中都要求准确测定其中微量氧的含量。由于大气中含有大量的（21%）氧，准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧，是气体分析中的难点之一。
二、微量水分析仪
微量水分也是评价高纯气体质量的主要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求，准确测量和严格控制高纯气体中水分含量，才能保证高纯气体的质量。
4、非色散红外分析法
非色散红外气体分析器是利用不同的气室和检测器测量混合气体中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等组分的含量。
非色散红外气体分析器主要由红外光源、试样室、滤波器、斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。
检测器是仪器的交键部件，红外检测器分成热检测器和光子检测器两种类型。热检测器是一种能量转换器，可以把热能转换成电信号，电信号经放大后，输入数据装置。光子检测器接受红外辐射，将半导体中的电子从非导电能级激发到导电能级，在这一过程中半导体的电阻有所降低。所以半导体检测器比热检测器响应快。
标准气体分析方法总结归为主要的有以上四种。
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