欢迎登陆天津市隆安工贸有限公司官方网站! 工业气体充装、经营、配送、研发工作

全国统一服务电话:022-68833255

新闻中心NEWS

您当前的位置:网站首页 - 新闻资讯 - 行业资讯
电子气体在高新技术中的应用
发布时间:2022-07-12 09:18:41      点击次数:763

进入20世纪90年代以后,随着我国高新技术的快速发展,计算机工业对大规模集成电路、液晶显示器的需求大量增加;随着新型能源的发展,我国大力开拓了多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产;此外,新型电光源、光电半导体器件(GaAs、InP、AlGaAs)、光纤通讯器件也获得迅猛发展,在上述高新产品的生产中,都需要大量高纯气体,以制造出性能可靠的各种器件。

 

大规模集成电路
化学气相沉淀:SiH4,NH3,O2,N2O,TEOS(四乙氧基硅)
化学刻蚀:CF4,SF6,NF3,Cl2,CCl,BCl3,KrF,ArF,HBr,HCl
化学掺杂:BF3,B2H6,PH3,AsH3

 

液晶屏
化学气相沉淀:SiH4,SiNx
化学刻蚀:SF6,HCl,Cl2

 

太阳能电池
化学气相沉淀:SiH4,NH3,NF3
扩散、刻蚀:POCl3,O2,CF4

 

光电半导体
化学气相沉淀:AsH3,PH3,NH3,N2,H2
化学刻蚀:BCl3,Cl2

 

光导纤维
化学气相沉淀:SiH4,SiCl4,D2,GeCl4
化学刻蚀:CF4,KrF,ArF,Cl2,SF6


您感兴趣的新闻
上一条:标准气体分析常用的主要方法概述
下一条:机动车尾气检测标准气的组成及作用

返回列表

  • 咨询电话

    022-68833255
  • 在线留言

  • 返回顶部